8864 / 2024

تحليل الشعاع الميكرونى- المجهر الإلكتروني الماسح طريقة لتقييم الأبعاد الحرجة بواسطة CD-SEM (ISO 21466:2019)(متبناة)

This document specifies the structure model with related parameters, file format and fitting procedure for characterizing critical dimension (CD) values for wafer and photomask by imaging with a critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM) b